传一家上海国企可量产国产光刻机 外界质疑

据报一家上海的国有半导体设备公司已开始量产浸没式深紫外光刻机（DUV），这是生产各类芯片不可或缺的设备。但分析指中国技术存在瓶颈，而极紫外光刻机（EUV）仍是最难跨越的门槛。

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